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【中国常识产权报】我国胜利制备高耐压机能半导体资料
来历:消息中间
宣布时候:2022年03月01日 编辑:消息中间

  比来,中国电子科技团体公司第四十六研讨所(下称中国电科46所)胜利研制出具备自立常识产权的HVPE氧化镓同质内涵片,弥补了国际相干手艺空缺。今朝,HVPE氧化镓同质内涵片已在相干器件上完成利用考证。

  中国电科46所首席专家王英民博士先容,氧化镓是新型超宽禁带半导体资料,具备优良的物理化学特征,在微电子与光电子范畴均具备广漠的利用远景。由HVPE法制备的氧化镓同质内涵片,具备内涵层结晶品质高、电学参数可控特色,可用于超高压功率器件制备,出格是针对垂直布局的肖特基势垒二极管器件,能够或许进步相干器件的耐压值,大幅度下降功率消耗,使其机能加倍优良。

  此前,国际氧化镓内涵片依托入口,成为按捺国际该资料利用鞭策的瓶颈之一。有鉴于此,2020年初,中国电科46所建立了攻关团队,展开氧化镓同质内涵片研发任务。那时,国际外均无相干内涵装备出卖,也不成熟工艺能够鉴戒,团队的研发一度堕入僵局。

  面临困难,中国电科46所研发团队不泄气,王英民博士率领团队经由进程调研和频频摹拟论证,并连系团队在HVPE范畴的研讨经历,终究自立设想出了HVPE氧化镓内涵装备。尔后,团队通宵达旦地展开计划设想、尝试展开、工艺优化等一系列任务,在2021年上半年取得了第一片氧化镓同质内涵片。

  研发固然有停顿,但也碰到一些曲折。在研发不时鞭策中,团队又碰到了新的题目——氧化镓的搀杂与电机能的调控。王英民博士表现,有了之前的经历,团队立异性设想了可控微量搀杂体系,知足了内涵层搀杂的电机能需要,终究于2021年底胜利制备出了合适功率器件利用请求的HVPE氧化镓同质内涵片,该产物无望完成入口替换。

  “HVPE氧化镓同质内涵片的手艺冲破,受害于hth华体会全站,华体会体育在HVPE范畴多年深耕的经历积累,更受害于hth华体会全站,华体会体育对峙从氧化镓单晶衬底到氧化镓晶片全线加工手艺停止自立研发。”王英民表现,在研发进程中,团队冲破了低缺点HVPE氧化镓同质内涵手艺、可控搀杂手艺和氧化镓同质内涵片外表加工手艺,提交了“一种接纳卤化物气相内涵法成长氧化镓内涵层的方式”等多件发现专利请求。同时,团队连系本单元在氧化镓单晶衬底制备方面的上风,买通了氧化镓从单晶到器件利用的樊篱,鞭策了国际氧化镓基功率器件的成长。

  “氧化镓同质内涵片的胜利研发并利用于器件研制,是根本前沿研讨范畴与关头焦点手艺落地利用的严重冲破,极大地果断了hth华体会全站,华体会体育对HVPE方式从手艺攻关到工程化改变的决定信念。”王英民表现,接上去团队将重点冲破2英寸及更大尺寸、高品质氧化镓同质内涵片的研制手艺,进一步优化内涵片品质,鞭策工程化进度。另外,团队也将对准高品质厚层内涵手艺范畴,主动开辟HVPE法制备其余新型电子功效资料。

  (来历/中电资料)

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